表面処理
ATMI は、界面科学分野、化学研究・発見、特殊化合物合成、材料のスケールアップと供給において広範な知識と経験を有しています。後工程の専門知識から前工程の探査、テストウェハー再生技術まで、ATMI は表面加工材料・プロセスに経験の深さと広さで貢献します。
ATMI の主力商品は、半導体製造の生産品質を左右する、高品質の後工程用表面処理薬液です。エッチング前後の洗浄ステップから、べベルエッジクリーニングのような新しい洗浄方法、そして新たな前工程用薬液まで、ATMI は自他ともに認める特殊配合薬液市場のリーダーです。
配合薬液の未来を見据えつつ、ATMI では、当社のグローバルなHigh Productivity Development 能力が、迅速かつより細かにカスタマイズされ用途別に高度に特化した材料ソリューションを提供し、拡大する需要に従来よりもずっと短い期間で応えるのに好適であると考えています。コンビナトリアルサイエンスにより得られる豊富な知見が盛り込まれたウェハー上でのデータを数週間で提供できるこの能力は、従来の何ヶ月も要するR&Dに取って代わり、企業が材料ソリューションを発見し提供する力を伸ばします。
