イオン注入
ATMI は、開発および製造に使用されるイオン注入材料・プロセスにかけては定評あるリーダーです。10年以上にわたって、ATMI は、利用できる限りで最も安全かつ費用効果の高いイオン注入技術と材料を発明し採用し続けてきました。
最高の安全性を誇る毒性ガス供給ソースのSDS® から、ダウンタイムを大幅に減らし健康リスクを最小限に抑える史上初唯一のin-situクリーニングシステムのAutoClean™ まで、ATMI はイオン注入技術における安全性とプロセス効率化の先頭を走り続けてきました。
ATMI AutoClean® システム
史上初・唯一のin-situイオン注入クリ-ニングプロセス
ATMI SDS® ガス供給システム
史上最高の安全性を誇るテクノロジーが活かされたガス供給システム
ATMI VAC®
優れた圧力コントロールガス供給システム
ClusterBoron® 分子材料
少ないプロセスステップでより優れたデバイス性能
ClusterCarbon™ 分子材料
融合制御と自己アモルファス化を伴う NMOS のひずみ印加の実現