SDS® ガスソース

最高の安全性と効率を誇るテクノロジーが活かされたガス供給システム

SDS (Safe Delivery Source) は、長年の間半導体産業にとって最も選ばれる毒性ガスソースであり続けてきました。その無比の安全性上の利点と卓越したパフォーマンス歴がその理由です

SDS (Safe Delivery Source) は、高毒性ガスの搬送、保管、供給に伴う危険や環境リスクを軽減するように設計された画期的テクノロジーです。SDS3には大気圧より低圧で毒性ガスをより効率良く格納する新しいナノポーラス吸着剤が採用されています。SDSは毒性ガスを大気圧よりも低圧で格納するため、大事故につながるようなガス漏出の可能性がほとんどなくなり、ファブのダウンタイムも大幅に減ります。

1993年の提供開始以来、SDSは毒性ガス供給のスタンダードとなっています。大した事故が発生することなく、これまでに10億枚を超えるウェハーがSDSを使用して製造されました。

2006年12月には、米国運輸省が特別設計のオーバーパックに梱包されたSDSを、航空輸送を許された史上初で唯一の毒性ガス製品に指定しました。2008年1月17日には、SDSのアルシンガス製品が、Zone A危険物としては歴史的な初めての航空輸送を果たしました。これは安全という点からも大きな意味のあることですが、ATMI の毒性ガスをご利用の顧客にとっては、長期間の陸上・海上輸送も、トラック輸送や通関手続の遅れもなくなることを意味します。

2008年3月には、ATMI の共同創業者でありSDSの共同発明者でもあるカール・オランダー氏が、半導体環境安全衛生協会 (SESHA) から同協会の第30回年次シンポジウムにおいて功労賞を受賞しました。この賞は、半導体および関連技術産業において環境・衛生・安全の分野における大きな進歩に生涯を通じて貢献し功績を上げた個人に贈られるものです。

ATMIの最高経営責任者ダグ・ニューゴールドは、「SESHAのような大きな影響力を持つ団体がATMIの共同創業者の1人と彼によるSDSの革新的な発明を称えてくださったことを大変嬉しく思います。カールや ATMI の他の先見者たちの取り組みによる直接の結果として、半導体およびエレクトロニクス産業がこれまでに消費したSDSシリンダーは10万本にも達しています。半導体産業が製造業における衛生と安全の進歩の最先端を走り続けて来られたのは、SDSのような製品の普及とSESHAのような団体があったからでもあります。」と述べました。