RegenSi®

ATMI RegenSi 高効率ウェハー再生用薬液

RegenSi 高効率ウェハー再生用薬液は、半導体製造業者のシリコン総コストの削減に重点を置いた、説得力のある価値提案を提供します。RegenSi 薬液は、半導体産業で一般的に使用されているフィルムの大半を希釈HF等の製品よりも効率良く除去する一方で、シリコンウェハーの表面を極めて滑らかに仕上げます。この、シリコン基板上の金属フィルムと非金属フィルムに対する高度の選択性によって、ウェハー研磨の必要を最小限に減らすか、場合によっては不要にすることもできます。研磨によるシリコンの損失を最小限に留めることによってウェハーの再利用回数が増え、かなりのコスト削減につながります。

RegenSi ウェハー再生用薬液製品は、そのまま使用できるように配合されているため、製品の希釈は不要であるか、お勧めしていません。製品はバッチ浸漬式、バッチスプレー式、枚葉式のいずれにも使用可能で、現在使用中の製品の簡便な一時的代用品としての導入も可能です。

大手テストウェハー再生事業者との独占提携により、ATMI はRegenSiテクノロジーの利点を内外のテストウェハー要求に提供できるようになりました。