より予測性の高いプロセスとソース寿命の長期化を実現する、史上初唯一のin-situイオン注入装置クリ－ニング プロセス。
ATMI AutoClean システムは、イオンソース寿命と予防保全間隔を大幅に延長することによって時間とコストを節約し、イオン注入工程の効率を高める画期的なシステムです。このシステムは、クリ－ニング剤、プロセスレシピ、固体ソース供給機構および顧客別のアプリケーション開発に対応する能力で構成されています。
このin-situ方式のAutoCleanプロセスでは、イオンソースおよび注入装置の引き出し部分から堆積物を化学的・自動的に除去し、人体の有害プロセス副産物への暴露を大幅に減らします。クリ－ニングはin-situで行われ、ビームのグリッチ、副次的アーク放電やビーム均一性の悪化などによるダウンタイムの発生を減らします。さらに、ATMI AutoClean システムではクロスコンタミネーションも減るため、イオン種をローテーションさせる必要も最小限に減ります。このため、生産施設の全体的な柔軟性が向上し、所望の変更にも素早く適応できるようになります。
AutoClean システムは、ソース部分用の通常レシピとしても、イオン注入作業前後のコンディショニング用レシピとしても使用することができます。AutoClean システムでイオン注入作業プロセスを効率化しましょう。
お客様の声
「AutoClean の使用により安定したソースパフォーマンスが得られるようになった上、早期のソース不具合による予定外のダウンタイムの発生が皆無になった。比較テストでは、AutoClean システムのソース交換は標準システムより25～30%少なかった。AutoClean 使用のプロセスではソースの劣化に伴うグリッチの発生率が大幅に減り、ソース寿命終了時点でも新しいソースのパフォーマンスと同等のグリッチ発生率が得られたことが、データからも明らかである。安全性が向上して有害な材料やプロセス副産物に作業員が暴露する危険も減り、部品の汚れも少なくなってPM作業中に要する清掃も少なくなった。スループットモデリングによる推計では、ウェハーのアウトプットがツール当りウェハー約2000枚に増えたことになる。」 - テキサス・インスツルメンツ、DMOSS6
「当社での最初のテストでは、ATMI のAutoClean システムの卓越したクリ－ニング 特性が示されました。イオンソースのin-situ洗浄にAutoCleanを定期的に使用したところ、ソース寿命が40～50% 延びました。ビームの不安定さや高抑制リーク電流によるイオンソースの不具合もなくなり、ファブにおける予測性と生産性も向上しました。さらに、当社の初期データによれば、AutoClean を使用する結果、当社の定期的な予防保全作業も容易になり、ツールのダウンタイムも短時間で済むようになることが示されています。」 - アトメル (コロラド州コロラド・スプリングス) 注入装置エンジニアリングセクションマネージャー、ジム・ダン氏