フォトリソグラフィ

フォトリソグラフィ

フォトリソグラフィ材料のパッケージング・取扱・管理は ATMI が持つコア能力の1つです。豊富な経験と実証済みのパフォーマンスで、ATMI は貴社の一切のフォトリソグラフィ材料取扱ニーズに最上級の有効なソリューションをお届けします。高純度材料のパッケージングから、必須材料供給システム、先端材料追跡管理テクノロジーまで、ATMI の製品とサービスは選ばれるハイパフォーマンスソリューションです。

ATMI の先端的パッケージング製品には、重要な安全機能を提供する最高級ポリエチレンプラスチック製オーバーパックが使われており、特許を取得したディスポーザブル内側ライナーと高性能なディップチューブ、コネクター、キャップが付いています。これに加えて、ATMI 製品には各使用ポイント用の誤接続防止機能が付いており、大きな被害に至り得るミスが発生するリスクを低減しています。

主要製品には、多様なサイズの内袋付ボトル、内袋付缶、内袋付ドラムといったパフォーマンスシステムであるNOWPak® ブランドなどがあり、そのすべてに優れた供給性能実績があります。

ATMI は次世代の供給システムに視点を据え、さらに革新的なフォトレジスト材料専用のPDMPak ® ラインを4リットルサイズで間もなく発表する予定です。この製品にはレジストをユースポイントに圧送する高効率のプレッシャーディスペンス技術が採用されており、ポンプにかかる負荷を軽減し、ポンプのメンテナンスやダウンタイムも減らします。

ATMIが業界に先駆けて開発したもう1つの製品NOWTrak® は、特許を取得したRFID利用型の材料使用状況追跡・遠隔在庫管理システムです。このシステムは生産施設内にある1つ1つの材料パッケージ容器の情報を正確に追跡し、低温保管庫からの入出時間も把握するほか、交換が必要なことを知らせる自動警告、自動報告機能など、保管・準備・使用・補充の各段階を通して重要データの収集作業を自動化します。

ATMI のリソグラフィパッケージング・管理ソリューションの質の高いパフォーマンス、高度な追跡能力、優れた材料利用をぜひご活用ください。今すぐ ATMI にお問い合わせください。