デポジション

デポジション用プリカーサ材料

ATMI は、CVDおよびALD用のUltrapur™ デポジション用プリカーサ、材料の安全な取扱と搬送を可能にする特許を取得したキャニスターおよび最先端の機器を供給し、デポジションのプロセス効率化ソリューションを提供しています。ATMI では、フロントエンドとバックエンドの両方のアプリケーションにデポジション用プリカーサを提供しています。ATMI だけが持つユニークな High Productivity Development 能力を利用し、先端アプリケーションを迅速化・最適化します。主な先端アプリケーションには、DRAMのキャパシタに使用されるHigh-k絶縁体や先端的メタルゲート電極、ロジック用High-k / メタルゲート、低温でのデポジションと調整可能なエッチング性能を必要とするシャロー・トレンチ・アイソレーション、スペーサー、ハードマスクといったアプリケーション用の先端的絶縁体などがあります。

デポジション用プリカーサは、ATMI が開発したユニークで安全なSAGE™ テクノロジーを利用して、ガスとして供給することが可能です。Unichem™ 薬液供給システムファミリを使用する薬液供給には、超高度な清浄性を維持するための連続パージ技術が、固体プリカーサ供給には、安定した質量流束性能と供給材料の効率的利用を兼ね備えた ProE-Vap システムが採用されています。これらの能力が、顧客にとっての価値を高め、組み合わされたときに、プロセスのパフォーマンスを強化し、生産収率を向上させ、プロセスツールのダウンタイムとウェハー1枚当りのコストを削減する真のプロセス効率が生まれるのです。

デポジション補助装置

デポジション用プリカーサが十分な潜在価値を発揮するためには、適切にパッケージング・供給される必要があります。ATMI では、デポジションプロセス全般をサポートし、堆積膜の純粋で均一な品質を確保するために最適化された装置を提供しています。ATMI は、材料の最大限の効率的利用を可能にするガスのパッケージング・供給、薬液のキャニスター・供給、固体プリカーサ供給のソリューションを提供し、プロセスの安定性を向上させつつ操業上の柔軟性を拡大することによってプロセスツールのダウンタイムや資本投資を減らします。ATMI の提供するデポジション補助装置とプリカーサ材料の組み合わせは、半導体製造に非常に効率的なプロセスソリューションとなっています。