ATMIは、半導体の製造において、デバイススケーリングの継続とコスト削減につながる新材料への転換を可能にする画期的改善を実現しています。効率化によっていかに貴社の製造工程にパフォーマンスの向上と意味のある価値がもたらされ得るかをご覧ください。
より予測性の高いプロセスとソース寿命の延長を実現する、史上初唯一のin-situイオン注入装置クリ-ニングプロセス。
史上最高の安全性を誇るテクノロジーが活かされたガス供給システム
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短期間のリサーチで豊富な知識を獲得
CMPプロセスを簡素化。近日上市予定